針對各種的微奈米系統元件、以CVD所製成的各種結構、以PVD所製成的薄膜等，可以利用奈米壓痕量測儀來量測出各種結構的機械性質(如楊氏係數、硬度等)。本中心於110年9月1日與機電系合辦"奈米壓痕試驗機"教育訓練，培養學生機台操作的能力，未來本機台將開放校內外相關單位使用。